Support structure and exposure apparatus

WO2008090975 Art A1 31. Juli 2008

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008090975
Aktenzeichen: EP08703897
Anmeldetag: 25. Januar 2008
Veröffentlichung: 31. Juli 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20G10K11/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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