Stage device and exposure device

WO2008093617 Art A1 7. August 2008

Anmelder: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008093617
Aktenzeichen: EP08710594
Anmeldetag: 25. Januar 2008
Veröffentlichung: 7. August 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027F16F15/02H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Yaskawa Electric

Yaskawa Electric Corporation ist ein japanischer Hersteller von Industrierobotern, Servomotoren und Antriebstechnik mit Sitz in Kitakyushu.

1.450 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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