Ultrasonic cleaning method

WO2008096696 Art A1 14. August 2008

Anmelder: Hitachi Plant Technologies, Ltd., The University of Tokyo 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008096696
Aktenzeichen: EP08704413
Anmeldetag: 4. Februar 2008
Veröffentlichung: 14. August 2008
Rechtsraum: WO
IPC: B08B3/12H01L21/304G02F1/13G02F1/1333

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi Plant Technologies, Ltd.
The University of Tokyo
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 University of Tokyo

Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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