Three-dimensional particles and related methods including interference lithography

WO2008097495 Art A1 14. August 2008

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008097495
Aktenzeichen
EP08725117
Anmeldetag
1. Februar 2008
Veröffentlichung
14. August 2008
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Massachusetts Institute of Technology
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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