Method for manufacturing a single-crystal film, and integrated optical device comprising such a single-crystal film
WO2008098404
Art A2
21. August 2008
Anmelder: ETH Zurich 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008098404
- Aktenzeichen
- EP08706365
- Anmeldetag
- 14. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 21. August 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/762
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ETH Zurich
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
ETH Zürich
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.
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