Atomic layer deposition of strontium oxide via n-propyltetramethyl cyclopentadienyl precursor

WO2008100616 Art A2 21. August 2008

Anmelder: The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University, Honda Motor Co., Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008100616
Aktenzeichen: EP08725709
Anmeldetag: 14. Februar 2008
Veröffentlichung: 21. August 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/314C23C16/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University
Honda Motor Co., Ltd.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University

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