Thin-film bulk acoustic wave resonator and method for performing heterogeneous integration of the same with complementary-metal-oxide-semiconductor integrated circuit

WO2008101646 Art A1 28. August 2008

Anmelder: Consejo Superior de Investigaciones Cientificas, Epson Europe Electronics GmbH 🇪🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008101646
Aktenzeichen: EP08734583
Anmeldetag: 18. Februar 2008
Veröffentlichung: 28. August 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H03H9/17H03H9/05

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Anmelder

Firmen: Consejo Superior de Investigaciones Cientificas
Epson Europe Electronics GmbH
Land: 🇪🇸 Spanien

🇪🇸 Consejo Superior de Investigaciones Científicas

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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