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WO2008102695 Art A1 28. August 2008

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008102695
Aktenzeichen: EP08711332
Anmeldetag: 15. Februar 2008
Veröffentlichung: 28. August 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H05B33/10B05C15/00B05D1/26B41F15/08H01L51/50H05B33/04B05C11/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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