Polishing apparatus

WO2008105137 Art A1 4. September 2008

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Fujikoshi Machinery Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008105137
Aktenzeichen
EP08702832
Anmeldetag
29. Januar 2008
Veröffentlichung
4. September 2008
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/00B24B37/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Fujikoshi Machinery Corp.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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