Substrate support frame, and substrate processing apparatus including and method of loading and unloading substrate using the same

WO2008105637 Art A1 4. September 2008

Anmelder: Jusung Engineering Co. Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008105637
Aktenzeichen: EP08723190
Anmeldetag: 27. Februar 2008
Veröffentlichung: 4. September 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jusung Engineering Co. Ltd.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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