Illuminating device, defect inspecting apparatus using the device, its method, height metering apparatus, and its method

WO2008108174 Art A1 12. September 2008

Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008108174
Aktenzeichen: EP08711661
Anmeldetag: 20. Februar 2008
Veröffentlichung: 12. September 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/84G01B11/02G01B11/30G01N21/956H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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