Copper interconnection for flat panel display manufacturing
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Industrial Technology Research Institute 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008110216
- Aktenzeichen
- EP07726954
- Anmeldetag
- 15. März 2007
- Veröffentlichung
- 18. September 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/77G03F7/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Industrial Technology Research Institute - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
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Taiwanisches Forschungsinstitut für angewandte Technologie, entwickelt und überträgt Innovationen aus Elektronik, Materialwissenschaft und Industrietechnik in die Wirtschaft.
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