Vibration-proof structure for vacuum pump and vacuum pump with the structure

WO2008111335 Art A1 18. September 2008

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008111335
Aktenzeichen
EP08704244
Anmeldetag
31. Januar 2008
Veröffentlichung
18. September 2008
Rechtsraum
WO
IPC
F16F15/04F04B37/16F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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