Vibration-proof structure for vacuum pump and vacuum pump with the structure
WO2008111335
Art A1
18. September 2008
Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008111335
- Aktenzeichen
- EP08704244
- Anmeldetag
- 31. Januar 2008
- Veröffentlichung
- 18. September 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F16F15/04F04B37/16F04D19/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Japan Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Edwards Japan
Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.
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Vertreten von
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