Scanning electron microscope having length measuring function and sample dimension length measuring method

WO2008111365 Art A1 18. September 2008

Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008111365
Aktenzeichen: EP08711473
Anmeldetag: 18. Februar 2008
Veröffentlichung: 18. September 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/28G01B15/00H01J37/04H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Advantest Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

610 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

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