Coating solution for film formation, method for production of the coating solution, and method for production of semiconductor device

WO2008111463 Art A1 18. September 2008

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008111463
Aktenzeichen
EP08721391
Anmeldetag
5. März 2008
Veröffentlichung
18. September 2008
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/11C09D7/12C09D183/06C09D183/07H01L21/312
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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