Planar motor, positioning apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method

WO2008111629 Art A1 18. September 2008

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008111629
Aktenzeichen: EP08721978
Anmeldetag: 6. März 2008
Veröffentlichung: 18. September 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H02K41/03G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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