System and method for non-intrusive thermal monitor
WO2008113015
Art A1
18. September 2008
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008113015
- Aktenzeichen
- EP08732258
- Anmeldetag
- 14. März 2008
- Veröffentlichung
- 18. September 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01K17/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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