Gasverteilersystem

WO2008113571 Art A1 25. September 2008

Anmelder: Leybold Optics GmbH, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008113571
Aktenzeichen: EP08748842
Anmeldetag: 19. März 2008
Veröffentlichung: 25. September 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455C23C14/00H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Leybold Optics GmbH
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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