Method for producing self-supporting membranes

WO2008117173 Art A1 2. Oktober 2008

Anmelder: S.O.I.TEC Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008117173
Aktenzeichen
EP08719400
Anmeldetag
25. März 2008
Veröffentlichung
2. Oktober 2008
Rechtsraum
WO
IPC
B81C5/00H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
S.O.I.TEC Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies

S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies war ein französischer Hersteller von Silizium-auf-Isolator-Wafern für die Halbleiterindustrie, das heutige Unternehmen firmiert als Soitec. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente und Waferbondverfahren.

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