Cyclic siloxane compound and positive resist composition using the same

WO2008117897 Art A1 2. Oktober 2008

Anmelder: Adeka Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008117897
Aktenzeichen
EP08740497
Anmeldetag
16. April 2008
Veröffentlichung
2. Oktober 2008
Rechtsraum
WO
IPC
C07F7/21G03F7/039G03F7/075
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Adeka Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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