High repetition pulse power supply and lithography system with high repetition pulse power supply
WO2008120625
Art A1
9. Oktober 2008
Anmelder: National University Corporation Kumamoto University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008120625
- Aktenzeichen
- EP08722835
- Anmeldetag
- 26. März 2008
- Veröffentlichung
- 9. Oktober 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H03K3/53H03K3/57
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- National University Corporation Kumamoto University
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National University Corporation Kumamoto University
Die National University Corporation Kumamoto University ist eine japanische staatliche Universität. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Pharma, ergänzt um Metallurgie, organische Chemie und Messtechnik. Die Anmeldungen decken ein breites Spektrum von Halbleiterbauelementen bis zu Pflanzenschutzmitteln ab.
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