High repetition pulse power supply and lithography system with high repetition pulse power supply

WO2008120625 Art A1 9. Oktober 2008

Anmelder: National University Corporation Kumamoto University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008120625
Aktenzeichen
EP08722835
Anmeldetag
26. März 2008
Veröffentlichung
9. Oktober 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H03K3/53H03K3/57
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
National University Corporation Kumamoto University
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National University Corporation Kumamoto University

Die National University Corporation Kumamoto University ist eine japanische staatliche Universität. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Pharma, ergänzt um Metallurgie, organische Chemie und Messtechnik. Die Anmeldungen decken ein breites Spektrum von Halbleiterbauelementen bis zu Pflanzenschutzmitteln ab.

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