Deposition of ta- or nb-doped high-k films

WO2008122957 Art A1 16. Oktober 2008

Anmelder: L'air Liquide-societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008122957
Aktenzeichen: EP08751094
Anmeldetag: 8. April 2008
Veröffentlichung: 16. Oktober 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/30C23C16/40H01L21/314H01L21/316C07F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'air Liquide-societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von