Polysilicon deposition and anneal process enabling thick polysilicon films for mems applications

WO2008124595 Art A2 16. Oktober 2008

Anmelder: Analog Devices, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008124595
Aktenzeichen
EP08745116
Anmeldetag
4. April 2008
Veröffentlichung
16. Oktober 2008
Rechtsraum
WO
IPC
B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Analog Devices, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇮🇪 Analog Devices

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit irischer Konzerngesellschaft. Analog Devices entwickelt analoge, gemischte und digitale Signalverarbeitungschips für Industrie-, Kommunikations- und Automobilanwendungen.

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