Deposition precursors for semiconductor applications

WO2008124599 Art A1 16. Oktober 2008

Anmelder: Praxair Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008124599
Aktenzeichen
EP08745120
Anmeldetag
4. April 2008
Veröffentlichung
16. Oktober 2008
Rechtsraum
WO
IPC
C07F15/06C23C16/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Praxair Technology, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Praxair Technology

US-amerikanisches Unternehmen im Bereich Industriegase, das Verfahren und Technologien zur Gasproduktion entwickelt, heute Teil des Linde-Konzerns.

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