Film forming composition for nanoimprinting, process for production of structures, and structures

WO2008126523 Art A1 23. Oktober 2008

Anmelder: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008126523
Aktenzeichen
EP08721408
Anmeldetag
5. März 2008
Veröffentlichung
23. Oktober 2008
Rechtsraum
WO
IPC
B29C59/02H01L21/027B29K83/00B29L31/34C08G77/14C09D5/00C09D183/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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