Mass flow device using a flow equalizer for improving the output response

WO2008127799 Art A1 23. Oktober 2008

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008127799
Aktenzeichen: EP08731335
Anmeldetag: 4. März 2008
Veröffentlichung: 23. Oktober 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01F5/00G01F15/00G01F1/684G01F1/48

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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