Zirconium, hafnuim, titanium, and silicon precursors for ald/cvd

WO2008128141 Art A2 23. Oktober 2008

Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008128141
Aktenzeichen: EP08745713
Anmeldetag: 13. April 2008
Veröffentlichung: 23. Oktober 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/30C23C16/00C07F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Advanced Technology Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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