Moving body apparatus, apparatus for forming pattern, method of forming pattern, method of producing device, method of producing moving body apparatus, and method of driving moving body

WO2008129762 Art A1 30. Oktober 2008

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008129762
Aktenzeichen: EP08720323
Anmeldetag: 4. März 2008
Veröffentlichung: 30. Oktober 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B23Q1/62G03F7/20G12B5/00H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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