Discharge lamp, cable for connection, light source device, and exposure device

WO2008129931 Art A1 30. Oktober 2008

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008129931
Aktenzeichen: EP08739825
Anmeldetag: 3. April 2008
Veröffentlichung: 30. Oktober 2008
Rechtsraum: WO
IPC: F21V29/00H01J5/50H01J61/52H01L21/027F21Y101/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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