Three degree of movement mover and method for controlling the same

WO2008130560 Art A1 30. Oktober 2008

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008130560
Aktenzeichen: EP08799850
Anmeldetag: 16. April 2008
Veröffentlichung: 30. Oktober 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H02K41/00H02P1/00H02P3/00H02P5/00H02P7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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