Methods and systems for creating or performing a dynamic sampling scheme for a process during which measurements are performed on wafers
WO2008131422
Art A1
30. Oktober 2008
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008131422
- Aktenzeichen
- EP08746678
- Anmeldetag
- 23. April 2008
- Veröffentlichung
- 30. Oktober 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G05B23/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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