Control method of mass spectrometer and spectrometer

WO2008133074 Art A1 6. November 2008

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008133074
Aktenzeichen: EP08740336
Anmeldetag: 14. April 2008
Veröffentlichung: 6. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/62H01J41/04H01J49/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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