Resist protective film composition for immersion lithography

WO2008133311 Art A1 6. November 2008

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008133311
Aktenzeichen: EP08752070
Anmeldetag: 24. April 2008
Veröffentlichung: 6. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/11C08F36/20C08F220/22C08L33/14H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Asahi Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von