Extreme Ultraviolet Microscope

WO2008133506 Art A1 6. November 2008

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008133506
Aktenzeichen: EP08741659
Anmeldetag: 23. April 2008
Veröffentlichung: 6. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G21K7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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