A self-aligned pattering method by using non-conformal film and etch back for sonos memory

WO2008133817 Art A1 6. November 2008

Anmelder: Spansion LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008133817
Aktenzeichen: EP08742889
Anmeldetag: 14. April 2008
Veröffentlichung: 6. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/28H01L21/8247H01L21/308H01L21/311H01L21/033

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Spansion LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Spansion

Spansion war ein US-amerikanischer Halbleiterhersteller, der auf Flash-Speicher spezialisiert war und später in Cypress Semiconductor aufging. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Datenspeichertechnik, ergänzt um Software. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2014.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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