Optical gain approach for enhancement of overlay and alignment systems performance
WO2008134378
Art A1
6. November 2008
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008134378
- Aktenzeichen
- EP08746697
- Anmeldetag
- 23. April 2008
- Veröffentlichung
- 6. November 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.