Method of cleaning stannane distribution system

WO2008135948 Art A1 13. November 2008

Anmelder: L'air Liquide-societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008135948
Aktenzeichen: EP08751136
Anmeldetag: 5. Mai 2008
Veröffentlichung: 13. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: B08B5/00B08B9/02C23C16/44H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'air Liquide-societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von