Method of parallel run of reaction furnace for moisture generation

WO2008136042 Art A1 13. November 2008

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008136042
Aktenzeichen: EP07737076
Anmeldetag: 17. April 2007
Veröffentlichung: 13. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C01B5/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

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