Stage for substrate temperature control unit

WO2008136228 Art A1 13. November 2008

Anmelder: KOMATSU LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008136228
Aktenzeichen: EP08739210
Anmeldetag: 28. März 2008
Veröffentlichung: 13. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H05B3/20H05B3/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOMATSU LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Komatsu

Komatsu ist ein japanischer Hersteller von Baumaschinen, Bergbaugeräten und Industrieausrüstung mit Sitz in Tokio.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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