Photoresist base material and photoresist composition containing the same

WO2008136372 Art A1 13. November 2008

Anmelder: Idemitsu Kosan Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008136372
Aktenzeichen
EP08752083
Anmeldetag
25. April 2008
Veröffentlichung
13. November 2008
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/039H01L21/027C07C43/23C07C69/734
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Idemitsu Kosan Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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