Optical member, interferometer system, stage apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method

WO2008136404 Art A1 13. November 2008

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008136404
Aktenzeichen: EP08740860
Anmeldetag: 25. April 2008
Veröffentlichung: 13. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G01B11/00G02B5/08H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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