Determining a process model that models the impact of car/peb on the resist profile

WO2008136873 Art A1 13. November 2008

Anmelder: Synopsys, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008136873
Aktenzeichen: EP07866060
Anmeldetag: 27. Dezember 2007
Veröffentlichung: 13. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Synopsys, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Synopsys

Synopsys ist ein US-amerikanischer Anbieter von Software für den Chip- und Systementwurf (EDA) mit Sitz in Kalifornien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Optik und Elektronik für Entwurfswerkzeuge. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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