Laser micro-machining system with post-scan lens deflection

WO2008137453 Art A1 13. November 2008

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008137453
Aktenzeichen: EP08747180
Anmeldetag: 30. April 2008
Veröffentlichung: 13. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: B23K26/06B23K26/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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