Computer-implemented methods, systems, and computer-readable media for determining a model for predicting printability of reticle features on a wafer
WO2008137922
Art A1
13. November 2008
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008137922
- Aktenzeichen
- EP08769310
- Anmeldetag
- 7. Mai 2008
- Veröffentlichung
- 13. November 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F1/14G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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