Mass Spectrometry Unit

WO2008139809 Art A1 20. November 2008

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008139809
Aktenzeichen: EP08740337
Anmeldetag: 14. April 2008
Veröffentlichung: 20. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/62H01J41/10H01J49/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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