Purge Gas Assembly

WO2008139871 Art A1 20. November 2008

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008139871
Aktenzeichen: EP08751984
Anmeldetag: 23. April 2008
Veröffentlichung: 20. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/458H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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