Optical element driver, lens-barrel and exposure apparatus and method for fabricating device

WO2008139964 Art A1 20. November 2008

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008139964
Aktenzeichen: EP08752302
Anmeldetag: 2. Mai 2008
Veröffentlichung: 20. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/02H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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