Transfer apparatus, and vacuum treating apparatus

WO2008140093 Art A1 20. November 2008

Anmelder: ULVAC, INC., Sowa MD Center Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008140093
Aktenzeichen: EP08752682
Anmeldetag: 14. Mai 2008
Veröffentlichung: 20. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: B25J9/06B65G49/07H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ULVAC, INC.
Sowa MD Center Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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