Integrated circuit structure with nickel monosilicide film

WO2008140769 Art A1 20. November 2008

Anmelder: Atmel Rousset S.A.S., Centre National de la Recherche Scientifique, UNIVERSITE D'AIX-EN-PROVENCE MARSEILLE I, UNIVERSITE PAUL CEZANNE AIX-MARSEILLE III 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008140769
Aktenzeichen: EP08767660
Anmeldetag: 8. Mai 2008
Veröffentlichung: 20. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/28H01L21/285H01L21/336

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Atmel Rousset S.A.S.
Centre National de la Recherche Scientifique
UNIVERSITE D'AIX-EN-PROVENCE MARSEILLE I
UNIVERSITE PAUL CEZANNE AIX-MARSEILLE III
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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