Laser activated fluorine treatment of silicon substrates

WO2008141118 Art A1 20. November 2008

Anmelder: Linde, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008141118
Aktenzeichen
EP08769354
Anmeldetag
9. Mai 2008
Veröffentlichung
20. November 2008
Rechtsraum
WO
IPC
C23F1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Linde, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇩🇪 Linde

Deutscher Industriegasekonzern mit Wurzeln in München, gegründet 1879. Entwickelt und liefert technische Gase sowie Anlagen zur Gasverarbeitung für Industrie, Medizin und Energiewirtschaft.

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